OPTM系列(顯微分光膜厚計(jì))
300mm wafer厚度mapping 測試系統(tǒng)
LS系列(線掃描膜厚計(jì))
SM系列(智能膜厚計(jì))
MCPD系列(多通道分光器)
波長范圍230nm~800nm
膜厚測定范圍1nm~35um
波長范圍360nm~1100nm
膜厚測定范圍7nm~49um
波長范圍900nm~1600nm
臨時(shí)鍵合，背面減薄，蝕刻，CMP工藝 在線檢測
GS-300(成膜.加工裝置加載響應(yīng))
